辅助设备

新的AP&S清洗剂，可在所有常见类型的载体、箱子、SMIF-Pod和FOUP的表面有效清除颗粒和AMC。

主要优点

• 在优化的配方时间内，每次运行有高达12 x 12英寸的FOUPs的装载能力。
• 占地3平方米，水和氮气的消耗量低，具有吸引力的总拥有成本。
• 通过一个新的、创新的喷嘴概念实现最佳的清洗效果。该工具安装了50多个喷嘴（DIW和N2喷嘴）。

工艺流程
清洗和干燥

重要的技术特点

• CleanSurF®概念对手动和自动装载都进行了优化。
• 智能设备装置为待清洗的晶圆载体提供最大的灵活性
• 具有额外安全功能的新锁定装置
• 带有大型装载窗口的Autarkic工艺室，可实现舒适的装载和卸载
• 新的喷嘴概念实现了灵活的、360度的、可单独控制的喷嘴处理，以达到最高的清洁度和短的工艺时间。
• 最新的软件技术，以实现最大的过程可靠性
• 用户友好的监控确保了方便简单的系统处理，包括广泛的技术和示意图功能
• 集成的RFID扫描系统
• 第二个工艺室的门可以在洁净室和灰室之间实现门的功能
• 清晰的设计确保了简单的安装和维护。通往服务区的通道在工具的背面，可以在灰室一侧 

更多关于清洁器CleanSurF的信息、视频和图片可以在CleanSurF-Impressions网页上找到。