CLEANSURF® - 您的载体和箱子的清洁度保证人, SMIFS & FOUPS

该清洗机以其低水和低氮消耗以及3平方米的非常紧凑的占地面积而令人信服。

每次运行时可装载多达12 x 12英寸的FOUPs

最新的软件技术，包括符合Semi II标准的HMI，保证了最大的过程可靠性。方便和简单的系统处理是通过一个用户友好的监控实现的。 这包括广泛的功能，如工艺室的示意图、工艺值和活性喷雾元件的显示，以及简单的配方管理和广泛的输出功能。

该工具的概念为手动和自动装载进行了优化。它可以处理半导体生产中使用的所有常见类型的盒子、载体、FOUPs和SMIFs。