AP&S insights, news,
highlights and stories

新:CleanSurF®--您的载体、箱子、SMIF和FOUP的新清洁度保证人

CleanSurF® - 新的AP&S清洗剂确保了符合最高纯度标准的最大清洁度,以确保半导体制造业的工艺链,并确保最大的生产力。

CleanSurF®令人信服的是,在优化的配方时间内,每次运行的装载量可达12 x 12英寸FOUPs。结合约3平方米的紧凑占地面积和极低的水和氮气消耗,CleanSurF®提供了极具吸引力的总拥有价值。

CleanSurF®概念对手动和自动装载都进行了优化。两个新开发的组件对最佳的颗粒和AMC(空气中的分子污染)去除性能和更短的工艺时间做出了决定性的贡献。

1. 一个创新的喷嘴概念使灵活的、360度的、可单独控制的喷嘴处理成为可能。50多个喷嘴(DIW以及N2喷嘴)被安装在工具中,确保了最佳的清洁效果。
2. 由电机技术、坚固的旋转框架和灵活的设备固定装置组成的新转盘设计,提供了具有额外安全功能的新锁定装置。在手动装载过程中,旋转框架被牢牢固定,可以方便快速地装载。

最新的软件技术,包括符合Semi II标准的HMI,保证了最大的过程可靠性。用户友好的监控确保了方便和简单的系统处理。这包括:工艺室、工艺值和活性喷雾元件的示意图显示,以及简单的配方管理和广泛的输出功能。

自动处理室有一个大的装载窗口,令人信服。清晰的设计确保了最大的安全性,以及简单的安装和维护。在洁净室一侧装载,在灰室一侧进入服务区,意味着可以节省宝贵的洁净室空间。作为一个选项,第二个工艺室的门可以实现门的功能,将洁净室和灰室分开。

CleanSurF®扩展了AP&S清洁器系列,到目前为止,该系列的产品有CB II和CB III。"在产品开发中,以下是我们的关键点:我们希望根据最新的技术标准开发一种清洁器,它可以实现手动和自动装载,并增加我们现有清洁器的容量。通过我们的新型CleanSurF®,我们实现了我们的目标,即实现一个具有高效吞吐量和有吸引力的总拥有成本的清洗机,"AP&S公司CMO和CTO Tobias Bausch解释说。

欲了解更多产品详情,请联系我们的销售团队或访问CleanSurF-Impressions页面