在影片中,我们从一开始就伴随着这台新的清洗机,直到其交付。用于半导体生产的新型AP&S清洗机为SMIF和FOUPs、载体和盒子提供了最佳的颗粒和AMS去除。该清洗机具有很高的装载能力,每次运行可装载12 x 12英寸的FOUPs,并优化了配方时间。通过3平方米的紧凑占地面积和较低的水和氮气消耗,实现了有吸引力的总拥有成本。一个新的创新喷嘴概念保证了最佳的清洗效果。50多个喷嘴(DIW以及N2喷嘴)被安装在该工具上。
在影片中,我们从一开始就伴随着这台新的清洗机,直到其交付。用于半导体生产的新型AP&S清洗机为SMIF和FOUPs、载体和盒子提供了最佳的颗粒和AMS去除。该清洗机具有很高的装载能力,每次运行可装载12 x 12英寸的FOUPs,并优化了配方时间。通过3平方米的紧凑占地面积和较低的水和氮气消耗,实现了有吸引力的总拥有成本。一个新的创新喷嘴概念保证了最佳的清洗效果。50多个喷嘴(DIW以及N2喷嘴)被安装在该工具上。