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AP&S清洁器给人留下深刻印象

洁净室生产车间1有很多事情要做。整个系列的AP&S清洁器CBII和CBIII即将交付给客户。同事们正处于调试的最后阶段,他们很高兴地看到对我们经过验证的畅销产品的巨大需求。

由于对载体、箱子、SMIF-pods和FOUPs的最高清洁度的要求,以及对客户的最大灵活性,这两台清洗机多年来一直是AP&S组合的一部分。

可靠、实用和紧凑--这就是这些工具的概括描述。由于采用了AP&S所有清洗机都具有的智能夹具系统,所有类型的晶圆载体和盒子都可以在一个工具中进行清洗。适应不同类型的盒子的装载只需一眨眼的功夫。CBII的装载能力也令人信服,最多可装载8套标准的4"-8 "载体和盒子,CBIII最多可装载16套标准的4"-6 "载体和盒子或8套SMIF或FOUP/FOSB。快速的装载、有吸引力的TCO值和短的工艺时间支持半导体制造中的高效链。灰室和洁净室之间的实用闸门功能是该清洗机的另一个优势。

您想了解更多关于AP&S清洁器系列CBII、CBIII和获奖的CleanSurF吗?请联系我们的销售团队:sales@ap-s.de